純水製備與離子交換樹脂再生

半導體、顯示器、精密電子及其他工業製程，對用水中的離子、有機物、微粒與微生物各有不同要求。純水系統需依原水條件及製程規格，結合前處理、除鹽、精製與循環供水，維持適合的使用水質。超純水常以25°C時約18.2 MΩ·cm的電阻率作為重要指標之一，但電阻率主要反映離子污染程度，仍需配合總有機碳（TOC）、微粒及微生物等指標評估。圖3為純水處理概念示意，實際設備與排列順序應依系統設計確認。

前處理：保護後續設備

依原水水質，可選用混凝、固液分離、過濾、活性碳及軟化等程序。混凝與過濾有助於降低懸浮物及膠體；活性碳可用於去除餘氯及部分有機物；軟化則降低鈣、鎂硬度，減少後續設備結垢風險。原水條件不同，所需單元也不同，並非每套系統都需要混凝或軟化。

除鹽：逆滲透與離子交換

逆滲透（RO）利用膜分離技術降低水中的溶解性鹽類及其他污染物，是工業純水系統常見的除鹽程序。離子交換則利用樹脂交換水中離子，可用於軟化、除鹽或後段精製。許多系統會先以RO降低鹽分負荷，再搭配離子交換或電去離子（EDI）提升水質；實際配置仍需依進水與產水要求決定。

精製：控制有機物、離子與微粒

依製程要求，可進一步配置UV、精製離子交換及超過濾（UF）等設備。UV的功能依波長與設備設計而異，可用於微生物控制或有機物光氧化；精製離子交換用於降低殘餘離子；UF則可用於攔截微粒及部分大分子污染物。各單元需配合整體系統設計，才能發揮預期效果。

離子交換樹脂再生

傳統可再生式樹脂在交換能力下降後，需要依樹脂種類進行再生。鈉型軟化樹脂通常使用氯化鈉鹽水再生；除鹽用的氫型陽離子交換樹脂，常使用鹽酸或硫酸；氫氧型陰離子交換樹脂則常使用氫氧化鈉。混床樹脂的再生需依設備設計，完成分離、個別再生與重新混合等程序。

再生藥劑的純度、雜質及操作條件會影響樹脂效能與產水品質，應依設備及樹脂供應商要求選用。再生廢液亦需收集並安排適當處理。

循環供水與回收評估

製成的純水需透過適合的儲槽、管路及循環設計，降低供水過程中的再污染風險。未使用的循環水與製程排水應分開管理。製程排水能否回收，需依污染物及水質評估，必要時另行處理，不宜直接返回純水儲槽。

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